剪切变形过程中同一滑移系的位错之间可发生反应，该过程中具有特定位错偶构形的位错之间反应可形成空位及其集团、或自间隙原子集团和偶极子环等低维缺陷。空位集团一般较稳定，而间隙原子集团迁移能垒较低，可动性很强。这些点缺陷可与运动位错发生反应，产生割阶等位错微结构而影响位错后续运动。

 上图分别为位错反应时空位型和间隙原子型缺陷集团的产生过程；下图为产生的空位及间隙原子型缺陷集团的结构。