研究方法:
?光电子能谱(XPS)
?软X射线光谱
?硬X射线光谱(透射方法、荧光方法)
?X射线衍射
?光刻和超微细加工等
光电子能谱-XPS
XPS表面分析方法,样品表面的元素含量与形态,深度约为3-5nm。
表面分析的主要内容有:
?表面化学组成:
表面元素组成、表面元素的分布、表面化学键、化学反应等
?表面结构:
表面原子排列、表面缺陷、表面形貌
?表面原子态:
表面原子振动状态、表面吸附(吸附能吸附位) 等
?表面电子态:
表面电荷密度分布及能量分布、表面能级性质、表面态密度分布、价带结构