微观世界的雕刻艺术——微纳加工技术
作者:宾凡淳,牛梦瑶 所在单位:中国科学院理化技术研究所
微观世界的雕刻艺术——微纳加工技术,是一种在微小尺度上创造奇迹的先进技术。它利用光刻、湿法腐蚀、干法刻蚀等技术,在微米、纳米尺度上对材料进行精确操控,就像雕刻师在微观世界里精雕细琢。从电子芯片的微小电路到生物医学中的细胞操控,微纳加工技术无处不在,推动着科技与生活的发展。它让机器拥有了感知外界环境的“触角”,也让我们的生活更加智能化、便捷化。这门艺术,正悄然改变着我们的世界。