磁悬浮分子泵，是半导体工业关键核心零部件之一，也是最高端的真空获得设备。2013年5月，在北京举行的第十二届国际真空展上，由中科科仪研发制造的磁悬浮分子泵隆重登场，一亮相就获得了国内外同行的高度关注和广泛赞许，这是中科科仪对外展示国内首台具有高洁净、低振动、免维护、转子自动平衡、断电自动保护、任意角度安装等特点的磁悬浮分子泵。自此，磁悬浮分子泵终于有了“中国创造”。目前，磁浮分子泵系列产品开发与产业化项目的创新成果已实现产业化。
　　此展品为CXF-250/2000型磁悬浮分子泵，它采用5轴电磁轴承及控制技术，实现转子无摩擦高速运转。转速27000转/分钟，极限真空小于10 帕。其特点是运转寿命长、可靠性高，可获得完全无油的清洁真空，满足大规模集成电路装备的特殊需求。

CXF-250/2000型磁悬浮分子泵剖面图