1604年，荷兰眼镜商Janssen创造地球上第一台显微镜，放大倍数10倍，开启了人类探索微观世界的大门。

　　1675年安东列文虎克，用一个光学显微镜观察最早纪录观察肌纤维、细菌、精虫、微血管中血流。

　　列文虎克用显微镜观察并绘制的跳蚤与植物细胞显微图。

　　1933年,德国人鲁斯卡(Ruska)设计制造了第一台电子显微镜，可以得到1万倍的放大像，放大率已超过了光镜，标志着人类对微观事物的探索进入崭新的阶段。

　　1981年IBM公司苏黎士研究实验室的比宁和卢勒利用量子隧道效应发明了扫描隧道显微镜（STM）。这种仪器可以观察到物体表面的纳米结构，是显微镜技术的一大进展。

　　STM成为往后纳米技术中的主要分析工具，专门用来观测金属或半导体的表面。STM还可用来操纵原子、分子，构造人工纳米结构。图为钴原子在铜表面上的形貌影像。

　　1985年，由IBM公司苏黎世研究中心的格尔德.宾宁与斯坦福大学的Calvin Quate合作发明原子力显微镜，目的是为了使绝缘体也可以采用类似扫描探针显微镜的观测方法。

　　2013年10月，中科院国家纳米科学中心使用自主研制、升级和改造的设备，及自制原子力显微镜核心部件-qPlus型力传感器首次观察到了分子间的微弱作用力：氢键。

　　1604年，荷兰眼镜商Janssen创造地球上第一台显微镜，放大倍数10倍，开启了人类探索微观世界的大门。

　　1675年安东列文虎克，用一个光学显微镜观察最早纪录观察肌纤维、细菌、精虫、微血管中血流。

　　列文虎克用显微镜观察并绘制的跳蚤与植物细胞显微图。

　　1933年,德国人鲁斯卡(Ruska)设计制造了第一台电子显微镜，可以得到1万倍的放大像，放大率已超过了光镜，标志着人类对微观事物的探索进入崭新的阶段。

　　1981年IBM公司苏黎士研究实验室的比宁和卢勒利用量子隧道效应发明了扫描隧道显微镜（STM）。这种仪器可以观察到物体表面的纳米结构，是显微镜技术的一大进展。

　　STM成为往后纳米技术中的主要分析工具，专门用来观测金属或半导体的表面。STM还可用来操纵原子、分子，构造人工纳米结构。图为钴原子在铜表面上的形貌影像。

　　1985年，由IBM公司苏黎世研究中心的格尔德.宾宁与斯坦福大学的Calvin Quate合作发明原子力显微镜，目的是为了使绝缘体也可以采用类似扫描探针显微镜的观测方法。

　　2013年10月，中科院国家纳米科学中心使用自主研制、升级和改造的设备，及自制原子力显微镜核心部件-qPlus型力传感器首次观察到了分子间的微弱作用力：氢键。