当固体或液体的一维线性尺度远小于其他二维尺度时,这样的固体或液体称为膜。通常,膜可以分为两类,一类是厚度大于1*m的膜,称为涂层(Coatings),如硬质涂层、高温防护涂层等;另一类则是厚度小于1*m的膜,称为薄膜(Films),如光电功能薄膜等。
薄膜与涂层制备技术
冷喷涂:超声加速的固体颗粒在撞击到镀件表面时动能变为热能,完成镀膜。
等离子喷涂:在两固定电极之间产生的电弧使气体电离,加热并将材料喷向工件。
超音速火焰喷涂:利用高压燃烧火焰对粉末进行加热、加速后喷到工件表面而形成涂层。
电子束-物理所相沉淀:用电子束加热水冷坩埚中的蒸发材料使其熔融或升华气化沉积在基片上。
电弧离子镀:镀膜材料作为靶极,借助触发装置使靶表面产生弧光放电,膜材料在电弧作用下,产生无熔蒸发并沉积在基片上。
磁控溅射:借助于靶表面上形成的正交电子磁场,带电离子轰击靶材时发生能量和动量转移,靶材原子从表面逸出并沉积在基片上。
薄膜与涂层种类